●LEGEX系列为初项0.28µm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素 进行严格分析并排除或最大程度地降低其 影响。

●本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析 模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误 差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。

●用于位置检测的长度测量单元配备了超高 精度测量单元(自社开发)，该单元采用热膨 胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分 辨力、高性能反射线性编码器的组合，具 有极高的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。

●高精度测量机的设置环境需要恒温室级别， 但通过温度修正功能，可以在广泛温度环 境下保证精度。