描述 

强大的 40 mm 斐索干涉仪，可用于平面和球面 MarOpto FI 1040 Z 是一款功能强大的干涉仪，可以提供平面和球面以 及透射波阵面非接触测量。MarOpto FI 1040 Z 是测量光学元件，例如 平晶、棱镜和镜片，以及精密金属工件（包括轴承、密封表面和抛光 陶瓷）的理想选择。可以通过简单的干涉条纹检测、IntelliPhase 静态空 间载波分析或相位调制干涉分析来执行测量。MarOpto FI 1040 Z 可提 供现在的工业应用需要的灵活性和优异的性能。

• 6x / 3x 缩放，适合最大直径 1.5 mm 的工件 • 3 种干涉图分析模式：相移，IntelliPhase – 静态空间载波分析，或条纹 跟踪（自动或手动） • 尺寸小，方便集成到 OEM 系统。

• 紧凑耐用的设计 • 从 F / 0.7 到 F / 6.0 的透射球面

应用

• 小型光学元件的透射和表面测试

• 光学元件、车削零件、陶瓷、半导体和晶圆的测量

• 集成曲率半径测量