描述 

MarSurf UD 130.迈向新维度 MarSurf UD 130 Aspheric 是高精度  2D 表面测量站，用于表征光学元 件上的轮廓和粗糙度。MarWin 是 操作和评定软件。 检查经第一道机械加工操作后的 表面特征轮廓

• 及时检测偏差，避免成本高昂的 返工。

• 以机器可读格式输出差值轮廓， 用于控制机床。

• 提高灵活性

• 一个测量系统可测量多种旋转对 称非球面。无需额外投资。

• 测量范围高达 130 mm 

• 高测量速度和大动态范围（最高  5 mm/s 大镜头，/ 0.1 mm/s 微型 镜头）

• 可完全定位的针尖。

• 创新的 LP D 测针

• 通过提高刚度和减震以及降低惯 性矩改善了测针系统的动力学 性能： - 优化了测针系统的整体设计 - 创新的材料选择

• 集成芯片的测针用于： - 探测和识别测针， - 检查测针是否已正确插入， - 提供测针的信息。

• 您的结果将是正确的 • 高精度 MarSurf UD 130 是准确测 量工件的基础。2 nm的垂直分辨 率和 <300 nm 的形状偏差可保证 完美重现非球面。 • 更换测针无需重新校准。 • 可以测量边缘陡峭的镜片