描述
MarSurf LD 260。迈向新维度 MarSurf LD 260 Aspheric 是高精度 2D/3D 表面测量站,用于表 征光学元件上的轮廓和粗糙 度。MarWin 是操作和评估软件。 检查经第一道机械加工操作后
• 及时检测偏差,避免成本高昂的 返工
• 以机器可读格式输出差值轮廓, 用于控制机床(闭环)
• 更高的灵活性
• 一个测量系统可测量多种旋转对 称非球面,无需额外投资
• 测量范围高达 260 mm
• 最高测量速度和最大动态范围 (大镜头最高 10 mm/s / 微型镜 头最高 0.02 mm/s)
• 可完全定位的位针尖
• 仿生 LP D 测针
• 通过提高刚度和减震以及降低惯 性矩改善了测头系统的动力学 性能: - 优化了测针系统的整体设计 - 创新的材料选择
• 集成芯片的测针用于: - 探测和识别测针 - 检查测针是否已正确插入 - 提供测针的信息
• 您的结果将是正确的
• 高精度 MarSurf LD 260 是准确测 量工件的基础。0.8 nm的垂直分 辨率和 <100 nm 的形状偏差可保 证完美重现非球面。
• 更换测针无需重新校准
• 可以测量边缘陡峭的镜片