描述
• MFU 200-3D是一台用于球面、非 球面、自由曲面和特殊镜片自动 测量的通用型、高精度测量设 备。它由马尔研发，使得光学元 件能在生产区域附近快速完成测 量，获得2D和3D测量结果。 精度
• 这款测量设备的测量不确定度小 于100 nm PV，可完全满足您优 化加工过程的需求。 灵活性
• MFU 200-3D可对表面进行光学和 接触式测量。光学测量使用一款 干涉点传感器。有诸多测针可用 于接触式测量。 倾斜角高达45°的旋转对称的待 测件，倾斜角高达28°的离轴面 和自由曲面都可测量
