特征 

可自动化的高端测量系统 MarSurf WI 100 M 是一台强大的白 光干涉仪，用于表面的三维测量 和分析 – 非接触，与材料无关， 而且速度快。 全方位的测量解决方案，始终保持灵活性，精确到亚纳米级：这就是全新 MarSurf WI 100 的特点。 这些高精度测量 用于研究和质量保证的工具可提 供可靠的 3D 测量数据 - 仅需几步 即可快速、直观地完成。 额外的手动 Z 轴定位、大 x 和 y 轴 行程范围以及能够实现自动化， 使其有优异的易用性。可以执行 不依赖用户的、完全自动化的测 量，使此表面测量系统非常适合 质量保证中对简单直接和高效率 的要求。

主要优势： 

• 使用自动化软件进行与用户无关 的系列测量

• 高测量速度 – 即使是在全分辨 率下 

• 用户友好的概念

• 全方向碰撞检测保证了您的工件 和测量系统的安全

• 高动态范围 (HDR) 功能，16 位

• 高清拼接：大尺寸测量表面的高 分辨率输出一致

• 这种成熟的光学测量系统可成功 用于：

• DIN EN ISO 4287 / 25178 标准的粗 糙度测量 • 表面特征轮廓测量（包括体积、 磨损、各向同性）

• 微观几何形状和层厚的测量

• 用户非常重视该测量系统的可 靠性，因为它是为很多行业提供 了可定量、可追溯的 3D 特征的 可靠测量系统 。

• 包装内容：MarSurf WI 100 

• 干涉仪测量头 – HDR 相机（2 MP 或 5 MP） – 可自动识别的4孔物镜转盘 L 型支架，包括控制电子装置

• 电动 XY 工作台 (100 x 100 mm) 带 光栅尺，用于样本定位和像场合 并（“拼接”）

• 电动 Z 轴 (70 mm) 带光栅尺 

• 额外手动 Z 轴 (100 mm) 

• 测量系统计算机，带 24 英寸 TFT 显示器

• 物镜： – 2.5x 到 100x 可选

• MarSurf MSW，用于直观的数据 采集

• MarSurf ASW，用于自动化（可 选） • MarSurf MfM 用于专业评定、图形 表示和创建测量记录 • （可选择标准、扩展或高级版 本）

应用: 机械工程 鉴定和量化粗糙度、几何形状和磨损量 电子和半导体 亚微米级的组件检测，确保产品无缺陷 医疗技术 生产和实验室中医疗表面的质量保证 材料科学 新表面和产品的功能属性的优化 微系统技术 以纳米级精度测量最小组件的复杂表面几何形状